Hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của tạp chất bo trong silic

Trong quá trình khuếch tán tạp chất bo trong silic, sự tương tác giữa bo và sai hỏng điểm làm cho quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của bo trong silic trở nên phức tạp. Bài viết giới thiệu các kết quả nghiên cứu về hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của bo trong silic.

Từ khóa: Khuếch tán bo trong silic, Hệ số khuếch tán nội tại, Hệ số khuếch tán tương quan, Tạp chất bo trong silic, Linh kiện bán dẫn